EUV-Lithografie: Die Riesenmaschine | Bit-Rauschen 2022/14
Bit-Rauschen: Der Prozessor-Podcast von c’t - Podcast tekijän mukaan c't Magazin - Keskiviikkoisin
 
   Winzige Chipstrukturen verlangen riesige Lithografiesysteme. Die teuren Giganten mit EUV-Strahlung sind Thema im Podcast Bit-Rauschen, Folge 2022/14.
 
 